V hlavnom kanále inštalovaný prvok s laminárnym prúdením vytvára malý pokles tlaku, ktorý spôsobuje tok malej časti celkového prietoku cez obtokový kanál. Tam umiestnený snímač zaznamenáva hmotnostný prietok priamo ako teplotný rozdiel. Meranie prebieha tu v špeciálne tvarovanom prietokovom kanále, na ktorého stene sa nachádza kremíkový čip s obnaženou membránou. Pri technológii CMOSens® je na tejto membráne umiestnený vyhrievací rezistor a symetricky k nemu po jednom snímači teploty v smere prúdenia a proti smeru prúdenia. Ak je vyhrievací rezistor napájaný konštantným napätím, rozdiel napätí snímačov teploty je mierou hmotnostného prietoku plynu prúdiaceho v prietokovom kanále okolo čipu.
Schéma fungovania obtokového snímača v technológii CMOSSens® (výrez z obtokového kanála)