Prostorově úsporné a bezúdržbové řešení temperování pro Vaše CVD povlakovací zařízení

Vývoj a výroba CVD povlakovacích zařízení je komplexní a vyžaduje speciální know-how. To platí především pro chlazení. Přitom je rozhodující souhra senzorů a aktuátorů pro chladicí systémy Vašeho zařízení. Díky velkému výběru komponent a dlouholetým zkušenostem Vám může Bürkert nabídnout individuální řešení přizpůsobené Vašim požadavkům na řešení chlazení. Přitom jsme Vám k dispozici jako kompetentní partner pro fluidiku, a to od procesu plánování, přes uvedení do provozu až po preventivní údržbu.

Omezené prostorové kapacity a stížená údržba strojů v CVD povlakovacích zařízeních

CVD povlakovací zařízení musí být vysoce výkonná, aby pracovala skutečně efektivně. Přitom hraje rozhodující roli efektivní chlazení. CVD povlakování se má aplikovat výhradně na substrátu, nikoli v reaktoru.
Povlakovací zařízení by celkově mělo pokud možno kompaktní. Proto je v konvenčních řešeních kvůli stísněnému prostoru obtížná výměna komponent. Často je nutná náročná demontáž celých dílčích systémů, aby bylo možné dostat se k samotnému opotřebitelnému dílu. Pořízení vyměnitelných dílů navíc trvá velmi dlouho.

Koncepce fluidiky pro povlakovací zařízení je velmi nákladná a náročná. Od inženýringu, přes výběr a testování komponent v souhře, až po jejich nákup, instalaci a řádný provoz.

Grafische Darstellung von links nach rechts: PC-Arbeitsplatz plus Figur in Arbeitskleidung, darüber eine Sprechblase mit einem Fluidikplan und Fragezeichen – Figur in Arbeitskleidung, die eine komplexe technische Einheit zusammensetzt, Schachteln, in denen sich Bauteile befinden – Figur in Arbeitskleidung mit einem Zettel in den Händen vor einer größeren technischen Anlage in einem Schrank, geöffnete Tür

Konstrukce konvenčních chladicích systémů sestává z četných komponent a vyžaduje hodně místa. Právě u zařízení, která pracují v nákladných čistých prostorách, by měla být konstrukční velikost povlakovacího zařízení co možná nejmenší.

Grafische Darstellung: rechts größerer Schrank mit technischer Anlage, sechs Pfeile nach außen in alle Raumrichtungen, darin Kubus; links Kubus vergrößert dargestellt, darin komplexe technische Einheit, sechs Pfeile nach außen in alle Raumrichtungen; in der Mitte Pfeil von links nach rechts weisend

Při použití jednotlivých komponent a jejich potrubí vzniká mnoho těsnicích míst. S tím je spojené vysoké riziko úniků. Úniky spolu s náročnou preventivní údržbou prodlužují prostoje a redukují počty vyrobených kusů v CVD povlakovacím zařízení.

Grafische Darstellung von links nach rechts: größerer Schrank mit technischer Anlage, Detailansicht in Lupe – Figur in Arbeitskleidungmit Schraubenschlüssel in der Hand, die eine komplexe technische Einheit repariert, darum herum verstreut Bauteile – Schrank mit technischer Anlage, Förderband mit Reihe von Halbleiter-Chips, das Ganze durchgestrichen

Bezproblémový výrobní proces je v CVD povlakovacích zařízeních základem. Použití speciálních dílů s sebou nese náročnější logistiku v případě preventivní údržby. Zásobování náhradními díly navíc trvá velmi dlouho a může způsobit výpadky ve výrobě.

Grafische Darstellung von links nach rechts: komplexere technische Einheit, Rauchfahne, Symbol Achtungzeichen – Weltkarte; darauf Würfel, die Städte markieren, Minaturen von Schachteln, Ventile, Transportfahrzeug – Figur in Arbeitskleidung kniend vor einem Schrank, geöffnete Tür, darin größere technischen Anlage sichtbar

Všestranná a téměř bezúdržbová systémová řešení pro Vaše úkoly v oblasti chlazení

Bürkert Vás při optimalizaci a individuální úpravě řešení chlazení Vašeho zařízení na separaci plynů podpoří svými technickými zkušenosti z oblasti fluidiky. Z kombinace prostorově optimalizovaných, svařovaných nebo řezaných blokových řešení s vysoce kvalitními fitinky z ušlechtilé oceli vzniknou kompaktní, Vašim požadavkům přesně přizpůsobená řešení fluidiky. Osvědčená a spolehlivá technologie Bürkert se vyznačuje velmi dlouhou životností. Tím se zvýší bezpečnost Vašich procesů a preventivní údržba téměř nebude nutná.

Prostorově úsporná, svařovaná nebo řezaná bloková řešení

Grafische Darstellung von verschiedenen einzelnen Fluidik-Komponenten auf der linken Seite; in der Mitte Block mit drei Ventilen, Symbol Herz mit Kreispfeil; rechts vier übereinander angeordnete Varianten von Blöcken mit anderen Ventiltypen; Pfeile

Výhody systémového řešení Bürkert:

Díky vysoce kvalitním komponentám Bürkert s dlouhou životností budou Vaše zařízení spolehlivější. Poruchy a náročná preventivní údržba budou patřit minulosti.

Grafische Darstellung Block mit drei Ventilen, Durchflusssensor; Pfeil, Symbol Uhr

Moduly Bürkert vyrábíme ve vlastních závodech – nejsme závislí na dlouhých dodavatelských řetězcích. Máme velké skladové zásoby a v nouzových situacích dodáváme přímo. Plug-and-play řešení umožňují rychlou instalaci a minimalizují prostoje.

Grafische Darstellung einer Weltkarte; darauf Würfel, welche Städte markieren, Minaturen von Schachteln, Ventilen und eines Transportfahrzeugs; links und rechts der Weltkarte je dieselbe Detaildarstellung einer Anlage mit zentral platziertem Block mit drei Ventilen; links mit einem rot gefärbten Ventil

Se systémovými řešeními Bürkert už nemusíte sestavovat jednotlivé komponenty. Sníží se tak instalační časy chladicích systémů a tím i výrobní náklady celého povlakovacího zařízení.

Grafische Darstellung eines Diagramms mit zwei ansteigenden Kurven, schwarz und blau, y-Achse mit Symbol Geldmünzen, x-Ache mit Symbol Stückzahl; Darstellung eines komplexen technischen Bauteils, zugeordnet der schwarzen Kurve und eines kleineren Bauteils, zugeordnet der blauen, niedriger verlaufenden Kurve

očty kusů

Porovnání manuálního řešení a řešení Bürkert:

U nákladů na komponenty ve výši 200 eur a instalačního času 50 minut, což představuje instalační náklady ve výši 100 eur, Vás bude manuální řešení stát celkem 300 eur.

V případě řešení Bürkert se naproti tomu instalační čas sníží na 20 min. To odpovídá instalačním nákladům ve výši 40 eur. Součet nákladů tedy bude činit 240 eur. Při rostoucím počtu kusů se úspora ve výši 20 % významně projeví na Vašich celkových instalačních nákladech.

Kompaktní konstrukce systému ponechává prostor pro individuální design a vyžaduje menší instalační prostor. Obzvlášť u zařízení, která se provozují v drahých čistých prostorách, je prostorově úsporný design rozhodující. Díky tomu lze buď do prostoru umístit více strojů nebo v případě novostavby naplánovat menší prostory.

Grafische Darstellung eines größeren Schaltschrankes und einer Einheit aus zwei kleineren Schaltschränken; Darstellung eines komplexen technischen Bauteils, zugeordnet dem größeren Schaltschrank und eines kleineren Bauteils, zugeordnet den beiden kleineren Schaltschränken; die Schaltschränke umhüllt von zwei gleich große Kuben aus punktierten Linien

Prostorové potřeby v čistém prostoru: vlevo konvenční, vpravo řešení Bürkert

V kompletně svařeném systému Bürkert nejsou žádná rozhraní, na kterých by mohlo docházet k únikům. Tím odpadá náročná preventivní údržba a Vaše CVD povlakovací zařízení poběží spolehlivě.

Grafische Darstellung eines Ventilblocks, Lupe, transparente Detaildarstellung in Kreis, dort Flüssigkeit im Inneren sichtbar; Pfeil, Darstellung einer herkömmlichen Lösung aus einzelnen Bauteilen, verschmutzt und mit herabtropfender Flüssigkeit, das Ganze durchgestrichen

Temperovací systém Bürkert lze ve velmi krátkém čase snadno zabudovat do Vašeho CVD povlakovacího zařízení metodou Plug-and-play. V případě preventivní údržby lze komponenty rychle vyměnit.

Grafische Darstellung eines Ventilblocks, zwei der Ventile mit Steuerköpfen

Podle toho, jak má být Vaše zařízení uspořádané, přizpůsobíme modulární fluidický systém a nezbytné periferie perfektně Vašim požadavkům.

Grafische Darstellung von links nach rechts: Ventilblock, Pfeil – Detail einer Anlage mit offenen Rohrleitungen, Pfeil – dasselbe Detail mit eingesetztem Ventilblock; darüber Lupe mit Detailansicht

Individuální fluidické bloky pro minimální prostoje

Podle Vašich požadavků integruje řešení Bürkert velké množství komponent do jednoho centrálního fluidického bloku nebo do více fluidických bloků. Přitom naše systémová řešení přizpůsobíme Vašim prostorovým potřebám, požadovanému rozsahu funkcí, koncepci údržby a předepsané digitální komunikační infrastruktuře.

Systémové řešení Bürkert 100 % přizpůsobíme Vašim požadavkům

Grafische Darstellung von verschiedenen einzelnen Fluidik-Komponenten auf der linken Seite, Pfeile; rechts komplexer Block mit Ventilen und Sensoren, Verrohrung

Porovnání montážních časů řešení s konvenčním potrubím se systémovým řešením Bürkert

V tomto příkladu výpočtu Vám ukážeme, kolik instalačního času můžete s řešením Bürkert u svého dodavatele konstrukčních dílů ušetřit. Podle mota „Čas jsou peníze“ pro Vás znamenají zkrácené instalační časy značnou úsporu nákladů.

Konvenční řešení vs. Řešení Bürkert

Konvenční řešení jako 3násobný blok versus řešení Bürkert: Instalační čas se zredukuje o cca 38 minut na jednotku. Ušetříte tak dvě třetiny instalačního času.